Integrirani merilnik debeline in površinske gostote CDM

Aplikacije

Postopek nanašanja premaza: sprotno zaznavanje majhnih značilnosti elektrode; pogoste majhne značilnosti elektrode: praznično stradanje (brez puščanja tokovnega kolektorja, majhna siva razlika z normalnim območjem premaza, neuspeh identifikacije CCD), praske, kontura debeline redčenega območja, zaznavanje debeline AT9 itd.

Pošljite nam e-pošto

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Načela merjenja

Načela merjenja površinske gostote

Metoda absorpcije rentgenskih/β-žarkov

Načela merjenja debeline

Korelacija in laserska triangulacija

Značilnosti tehničnega testiranja CDM

Scenarij 1: Na površini elektrode je 2 mm široka praznina/manjkanje, en rob pa je debelejši (modra črta, kot je prikazano spodaj). Ko je žarek velik 40 mm, je vpliv izmerjene oblike originalnih podatkov (oranžna črta, kot je prikazano spodaj) očitno manjši.

Scenarij 2: podatki profila območja dinamičnega redčenja, širina podatkov 0,1 mm

Funkcije programske opreme

Tehnični parametri

Ime	Indeksi
Hitrost skeniranja	0–18 m/min
Frekvenca vzorčenja	Površinska gostota: 200 kHz; debelina: 50 kHz
Območje merjenja površinske gostote	Površinska gostota: 10~1000 g/m²; debelina: 0~3000 μm;
Ponavljanje meritev natančnost	Površinska gostota: 16s integral: ±2σ: ≤±prava vrednost * 0,2 ‰ ali ±0,06 g/m²; ±3σ: ≤±prava vrednost * 0,25 ‰ ali +0,08 g/m²; 4s integral: ±2σ: ≤±prava vrednost * 0,4‰ ali ±0,12 g/m²; ±3σ: ≤±prava vrednost * 0,6 ‰ ali ±0,18 g/m²;Debelina: 10 mm območje: ±3σ: ≤±0,3 μm; 1 mm območje: ±3σ: ≤±0,5 μm; Območje 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8 μm;
Korelacija R2	Površinska gostota > 99 %; debelina > 98 %;
Laserska točka	25*1400μm
Razred zaščite pred sevanjem	Nacionalni varnostni standard GB 18871-2002 (izjema od sevanja)
Življenjska doba radioaktivnih snovi vir	β-žarki: 10,7 let (razpolovna doba Kr85); rentgenski žarki: > 5 let
Odzivni čas meritve	Površinska gostota < 1 m/s; debelina < 0,1 m/s;
Skupna moč	<3 kW